耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高效率传片和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的优越之选择。
今年会 柱坐标型/SCARA型
今年会 晶圆
2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/
今年会 ≤0.5kg
2
今年会 580mm
今年会 450mm
270°
今年会 670mm
今年会 <1s
今年会 0.7s/180°
今年会 1.2S/450mm
今年会 ±0.1mm (3σ)
±0.006°(3σ)
±0.1mm (3σ)
今年会 ISO CLASS 1
60kg
今年会 208VAC(50Hz/60Hz)
今年会 670mm
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