SR210A-210/2.65 SR12A-12/1.46 SN4A-4/0.58 SN7B-7/0.90 SR25-20/1.76 SR25A-12/2.01
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今年会立式炉Mini STK应用于立式炉管设备前端，适用于FOUP的转运 、暂存和开盒。
今年会 1745×1100×3500（mm）
18
≤10kg
±0.1mm
≤0.3g
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